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產(chǎn)品展示
質(zhì)子供氣系統(tǒng)GYS-2Z/3Z/4Z/5Z
產(chǎn)品概述：GYS-2Z/3Z/4Z/5Z是一款低成本的流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。
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?電源：220V 50/60Hz
?額定功率：23 KW
?最高工作溫度：1500℃（＜0.5 h）?精度：±1.5% FS
?重復精度：±0.2% FS
?流量計范圍：1-100SCCM；1-200SCCM; 1-500SCCM
?壓力表量程：-0.1~0.15MPa
?混氣罐尺寸：φ76*長154mm
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm -
- 詳細描述：
產(chǎn)品型號
?供氣系統(tǒng) GYS-2Z/3Z/4Z/5Z
主要產(chǎn)品參數(shù)
?電源：220V 50/60HZ
?額定功率：23 W
?流量計范圍：1-100SCCM；1-200SCCM; 1-500SCCM
?有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接
?壓力表量程：-0.1~0.15MPa
?混氣罐尺寸：直徑76*長154mm
主要特點
?適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管
?氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便
?采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作
?所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸
混氣罐
?內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體
?混氣罐尺寸：直徑76*長154mm
氣口/閥門
?內(nèi)部連接管道為φ6.35
產(chǎn)品尺寸
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30KG
注意事項
?每只氣瓶最低必須保留0.5MPa的余壓
?減壓閥應采用調(diào)控范圍再0.02-0.25Mpa的專用氣體減壓閥
?不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維修會收取相應的費用。
?流量計通道采用的材料為：00Cr17N14M02 相當于316L不銹鋼、屬膠等為易腐材料。通入的氣體應無水汽低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性與體用戶應在定貨時聲明。
售后
?質(zhì)保期一年，終身維護
?24小時在線服務
- 產(chǎn)品中心
VIP設備客戶銷售熱線
- 劉總：15256218430
- 范總：18455167984
設備銷售熱線固定電話：0551-63648582
- 張經(jīng)理：18019971423
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