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GYS-3F是一款二通道混氣系統（1單獨2混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機、CVD系統、小型PECVD系統等。
GYS-4F是一款二通道混氣系統（1單獨3混氣），用于情性氣體的控制，可用于管式爐、等離子清洗機、CVD系統、小型PECVD系統等。
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?浮子流量計量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min
?精度：4%
?壓力表量程：-0.1-0.15MPa
?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管
?選配：浮子流量計量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
?混氣罐尺寸：φ76*長154mm
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30Kg
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- 詳細描述：
技 術 資 料
產品型號
?供氣系統 GYS-2F/3F/4F
產品特點
?適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續供氣系統。
?尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。
?氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
?顯示流量準確，可有效控制氣體的消耗量
?設備底部有滾動輪，方便移動使用方便，無需通電
產品參數
?浮子流量計量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min；
?精度：4%
?壓力表量程：-0.1-0.15MPa
?通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管
?選配：浮子流量計量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。
混氣罐
?內置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體
?混氣罐尺寸：直徑76*長154mm
氣口/閥門
?背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設備的進氣口
?兩個通道氣體進入混氣罐混氣，一個氣體通道獨立
?前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出，獨立通道的進出氣不受針閥控制。
產品尺寸
?外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm
?重量：約30Kg
售后
?質保期一年，終身維護；24小時在線服務
免責聲明
?本產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅供參考。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息，請與我司銷售人員聯系。本信息不構成任何要約或承諾，我司會不定期完善產品，恕不另行通知，請您見諒。
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